“這一臺設備售價高達幾千萬元，我們必須密切關注用戶的生產狀況�！敝芎｝埥榻B，上方電子之前已成功研發(fā)出5.5代半導體顯示PVD設備。從2014年開始，在國家發(fā)改委和工信部聯(lián)合立項支持的國家裝備國產化項目支持下，公司主攻8.5代半導體顯示PVD設備的研發(fā)和產業(yè)化，還順利完成8.6代新型顯示PVD的研發(fā)，并交付國內顯示屏生產企業(yè)。
據了解，PVD設備是用于生產顯示面板的高端設備。我國是全球最大的顯示屏生產國，但顯示屏生產過程中用到的PVD等關鍵技術設備始終被美國和日本公司壟斷。直到2018年，上方電子在國內成功完成8.6代PVD設備（8.5代升級后的產品）的研發(fā)，逐步打破這一行業(yè)的國外壟斷。
實現(xiàn)高端裝備的突破并不容易。上方電子100多名員工中，研發(fā)人員占百分之四十。其自研的PVD設備從5.5代升級到8.6代，設備的鍍膜面積增加了4倍多，涉及的零部件高達1.2萬個，需用到物理、機械、機電等六七門交叉學科，在攻克上萬個技術難點后，PVD設備實現(xiàn)了功能性納米薄膜材料在大尺寸玻璃基板上的連續(xù)生產，納米薄膜均勻性在5%以內，材料利用率超過80%，主要指標達到國際先進水平。目前，該設備已獲得17項國家發(fā)明專利。
“8.6代PVD設備的核心零部件鍍膜源之前主要依賴進口�！惫炯夹g總監(jiān)麻春雷介紹，PVD設備研發(fā)最難的就是鍍膜源開發(fā)，為了攻克難題，上方電子成立了由技術、采購、品質等組成的跨部門專項工作組，從機械設計、機械制造、裝機驗證到方案優(yōu)化，持續(xù)迭代升級，歷時半年，成功開發(fā)了首款鍍膜源樣機，實現(xiàn)核心技術自主研發(fā)。
俗話說，一個好漢三個幫。上方電子得以順利實施國產裝備重大突破，離不開當地政府部門的精準支持。通過當地稅務部門的主動服務，上方電子今年享受研發(fā)費用加計扣除高達1600余萬元，使得公司持續(xù)研發(fā)的決心更加堅定。
讓“中國屏”鍍上“紹興膜”后，上方電子又有了新目標。目前公司與北京交通大學、哈爾濱工業(yè)大學、浙江工業(yè)大學等眾多高校合作成立研發(fā)中心，聚焦先進裝備技術及其材料工藝研究。（浙江在線記者 夏丹 朱銀燕）
